某半导体器件心片我们厂在晶圆代加工阶段中,利用硅烷展开硅概念种植,氮氧化合物洗衣机清洗塔形成高浓硫酸浓度含硅废渣。废渣存在pH震荡大(2-11)、硅纯度高的特质,中国传统治理 的办法易会出现硅垢赌塞大问题。
废渣材质及来自
废气重要化学成分为:
容解性硅酸盐
:SiO₂渗透压达1000-1500mg/L
硫酸钠/氢氧化物钠
:洗條塔酸碱性洗條液残存
科粒硅
:納米级SiO₂电解质溶液
痕量砷
:材质杂质残渣携带
整理工序的流程
信息化用于"二级采和+膜进行过滤+减压蒸馏晶体"鑫霖环保:
3级结合
:用CaO缓解pH至4-5,绘制硅酸钙放置,硅彻底清除率60%。
二次元采和
:加Na₂CO₃将pH加快至9,进每一步乳浊液其他硅,串并联用镁剂除砷。
反渗透膜装置
:0.02μm瓷质膜过滤系统纳米技术级硅粒子,通量稳固在80LMH。
MVR汽化器
:精浓高盐废水处理方法,凝结出Na₂SO₄副厂品,水回收利用率超90%。
终极效用
总硅从1500mg/L降为5mg/L下
砷硫含量从0.8mg/L低于0.01mg/L
软件系统无水垢启用可超过2年
第一年出售氢氧化钠钠晶胞约800吨