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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆工作线匹配的超注射用水平台,整天产生含硅废污水150吨。废污池中虽无天价属,但硅含碳量高易积灰,且电阻值率需做到18MΩ·cm才能够回收利用。原始加工生产工艺是没办法满足了新出台的《电子无线工业园水生态破坏物废气排放物标准化》(GB39731-2020)十分废气排放物最大限度。 废污水材质特殊性 重要污染源物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、颗粒剂硅(比表面积0.1-1μm) 特别的想要 :TOC<10μg/L,硼含量<5μg/L 环境质量性 :低导电率(<50μS/cm)但硅化学物质姿态繁杂 除理制作工艺工艺步骤 企业创新利用"梯级膜区分+电去阴离子"搭配组合流程: 微滤归一化处理 :1μm淘瓷膜短信拦截大颗粒物硅,通量能维持80LMH 阳离子置换不饱和树脂 :D201大孔树酯选购性物理吸附硅酸分子结构 2级RO操作系统 :首个段回收处理率60%,然后段按照高脱硼膜pcb板 EDI电去亚铁离子 :直流电相对密度2A/m²,持继除掉的残留物阳离子 红外光谱杀菌的 :254nm分光光度计线含量40mJ/cm² 技能新亮点 发展专用的阻硅剂(巧妙胺类混合物),延长时间膜影响期3倍 EDI摸块创新性流道设计方案,硅清掉率大幅提升至99.8% 百度在线硅分析一下仪(量测的范围0.1-500μg/L)推动精准性的操纵 电脑运行成果 经第三步方检侧: 总硅从280mg/L低于0.05mg/L 硼含量的从8μg/L降下来0.3μg/L 机系统回收处理率从原40%增加至68% 膜调换周期性变长至5年,年运转的成本削减35%

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