半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
品牌题材
该客户为全球性前沿的光电器件首测客户,坐落于粤港澳大湾区形中北部,最主要的确定舒适鑫霖环保芯片的划区和封口测试软件。是由于本土环保型想要严格规范,客户来决定执行污水临“0”排放出建筑项目流程。项目流程于2020年进行,202两年多6月建于投建,整理总量为200吨/日,总投资者约2000万余元。
废水处理成分表及来原
本项目标片区污水包括一下优势:
高酸度氟化物,主要发源晶圆割切后的除垢工艺,氟铁离子酸度达150-200mg/L
有微米级硅粉粒子,比表面积多在100-500nm间
巧妙供电量较高,COD在500-800mg/L
包含的轻微巨资属如铅、镉等
导电率高,通常情况下在2000-3000μS/cm
办理具体流程具体流程
为达成零的排放受众,鑫霖环保结构设计比较偏重注意污废水 进行分类收录和材料再利用:
污水划分类别回收利用系统软件
:将含氟电镀焦化废水与其他电镀焦化废水隔开收集整理
化工结晶除氟
:采用了多级钙盐沉垫法,协助效率沉垫池
高层氧化的进行处理
:什么是臭氧催化燃烧的氧化的分解难清理可挥发物
膜溶缩程序
:所采用DTRO碟管式反渗透设备到,原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 公因数为10倍
蒸馏心得
:MVR机过热蒸汽再减小减压蒸馏器净化处理浓水
变干操作系统
:将晶体盐晾干后当作行业副食品外售
正确处理实际效果
机系统操作数据统计显示信息:
氟化物剔除率>99.9%,满水后氟铁离子<1mg/L
COD总去掉率>98%,冒水COD<20mg/L
水的资源收废率>95%,仅行成一些凝结盐
今年可回笼高品性工业废水处理水约5万吨
晶粒盐饱和度完成行业级规则,做到成本化采取
产品除了满足了废气零尾气排放,还采用成本收旧营造了约80上万元/年的上限回报。