半导体晶圆划片废水处理案例|半导体晶圆划片废水处理方法
大型项目背静
此成本项目属于长三边形省市某地方级半导体设备加工业幼儿园内,企业重点生孩子8厘米和12厘米晶圆,曰产量到2万片。不断地产值加强,同一的生产废水操作平台已没办法能够满足环境保护想要,亟需在线升级进行改造。成本项目总成本约1一千万元,设计制作操作工作能力为300吨/日,于202一年建起投用。
工业废水因素及原因
该企业主晶圆划区工作呈现的废水处理一般含盖下面的物质:
打磨时中食用的研磨设备液余留物,大部分的成分为二氧化反应硅小粒、外层抗逆性剂和有机肥料增加剂
晶圆表面上除污引起的含氟废水处理方法,氟铝离子溶度在80-120mg/L
几瓶天价属阴阳离子如铜、镍等,由来于切除道具磨花
有机酸萃取剂无残留,以及异丙醇、甲苯等
pH值浮动很大,一般性在4-10左右
整理加工过程流程步骤
针对性废气性,构思使用"有机化学预解决+血生化解决+进一步解决"的组合构成工艺设备:
改善池
:匀衡土质供水量,设立pH同屏在线检测网和系统化自动加量系统化
混凝土沉积
:加药PAC和PAM,的还原飘浮物和胶体溶液物资
气浮單元
:用于溶气气浮工艺设备进几步避开狗细小颗粒物和环节苯的同系物物
生物化学处里
:进行MBR膜怪物发生膜生物反应器,活性污泥盐浓度保持在8000-10000mg/L
角度进行处理
:亲水性炭物理吸附+反融于鑫霖环保,狠抓出水出水及格
废水加工
:板框压滤脱水器,淤泥含水量率降为60%以下的
办理功能
设备保持稳定使用后,满水后饮用水仍然提升《网络实业水危害物产生标准化》(GB39731-2020)比较产生限制值需要:
COD<30mg/L
氟化合物<5mg/L
飘浮物<10mg/L
血本属每一项统计指标均达不到卫生防护距离
楼盘第年可才能减少环境破坏物排放物量约COD 32吨、氟化物8.5吨,造纸废水处理水率提高75%以上内容,为各个企业节俭有水费收入支出约110万元/年。